洗淨方法的種類
方法
清洗目標
乾式法
紫外線/臭氧 (UV/ O3)
有機物
超聲波 (US)
塵埃
濕式法
浸漬 (DIPPING)
輕及有機性污漬
刷子 (BRUSH)
固體及有機性污漬
超聲波 (US)
輕及有機性污漬
噴射式 (JET)
固體及有機性污漬
溶劑 (SOLVENT)
接著劑的塗布 (PHOTO RESIST COATING )
剝離 (REMOVER)
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紫外線/臭氧
(UV/ O3)
超聲波
(US) 
浸漬
(DIPPING) 
刷子
(BRUSH) 
超聲波 (US) 
噴射式
(JET) 
溶劑
(SOLVENT)
接著劑的塗布
(PHOTO RESIST COATING )
剝離
(REMOVER)